Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов, "Письма в Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Иешкин А.Е.1
  • Кушкина К.Д.2
  • Киреев Д.С.3
  • Ермаков Ю.А.4
  • Черныш В.С.5
стр. 18-23
Платно
1 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова; НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, 2 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова; НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, 3 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова; НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, 4 Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН, 119071, Москва, Ленинский просп., 31, стр. 4, 5 НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
  • SDI: 007.001.0320-0116.2017.043.002.3
Аннотация:
Проведено исследование влияния облучения газовыми кластерными ионами на топографию поверхности карбида кремния и алмаза. С помощью атомносиловой микроскопии показано, что воздействие на эти материалы кластерных ионов с энергией 10keV и дозами более 10cm приводит к сглаживанию рельефа поверхности. Приведены оценки скорости травления и эффективности сглаживания рельефа в зависимости от толщины удаленного слоя вещества. С помощью спектроскопии комбинационного рассеяния света продемонстрировано отсутствие дефектов, вносимых облучением кластерными ионами в объем мишени.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.