Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Фазовый состав тонких пленок оксида олова, газочувствительных при температуре, близкой к комнатной, "Письма в Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Махди О.С.1
  • Маляр И.В.2
  • Захаревич А.М.3
  • Смирнов А.В.4
  • Синёв И.В.5
  • Вениг С.Б.6
стр. 97-103
Платно
1 Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского; Al-Muthanna University, 2 Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, 3 Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, 4 Комсомольский-на-Амуре государственный технический университет, 5 Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, 6 Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, 410012 Саратов, Россия
Аннотация:
Исследован фазовый состав тонких поликристаллических пленок оксида олова на кремниевых подложках, полученных методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления и обладающих чувствительностью к парам этанола при 38° C. Было установлено, что они состоят из кристаллов SnOсо средним размером порядка 7 nm, покрытых нанометровым слоем аморфной фазы SnO. Также было установлено, что объемное содержание первой фазы составляет порядка 95%, а второй фазы - 5%. Проведенный расчет текстуры показал, что имеется преимущественный рост кристаллов SnO2 вдоль кристаллографических направлений (110), (211) и (310) перпендикулярно подложке.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.