Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Голографический метод количественного измерения фотолитографических реплик толстых рельефных дефектов поверхности, "Письма в Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Будников Н.С.1
  • Дуденкова В.В.2
  • Котомина В.Е.3
  • Морозов О.А.4
  • Семенов В. В.5
стр. 81-87
Платно
1 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 3 Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета, 4 Казанский (Приволжский) федеральный университет, 420008 Казань, Россия, 5 Санкт-Петербургский политехнический университет
  • SDI: 007.001.0320-0116.2017.043.011.11
Аннотация:
Для задачи оценки характерных размеров и рельефа микродефектов поверхности образцов сложной формы представлен голографический метод измерений прозрачных реплик - обратной маски к исследуемой поверхности. Метод измерений основан на цифровой регистрации интерферограмм полимерной реплики в модифицированной внеосевой голографической схеме Лейта-Упатниекса и расчете разности набега фазы по серии восстановленных цифровых голограмм.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.