Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Влияние добавления диборана на свойства плазмохимически осаждаемых углеродных пленок, "Письма в Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Шубина Е.Н.1
  • Карасёв П.А.2
  • Титов А.И.3
  • Подсвиров О.А.4
  • Виноградов А.Я.5
  • Карасёв Н.Н.6
  • Поздняков А.В.7
стр. 80-88
Платно
1 Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 2 Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 3 Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 4 Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 5 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе, 194021 Санкт-Петербург, Россия, 6 Санкт-Петербургский национальный университет информационных технологий, механики и оптики, 7 Кафедра металловедения цветных металлов, Национальный исследовательский технологический университет “МИСиС” 119049 Москва, Ленинский просп., 4
  • SDI: 007.001.0320-0116.2017.043.001.11
Аннотация:
Представлены результаты исследований оптических, электрических, механических свойств алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения из смеси диборана и метана в различных пропорциях. При достижении пороговой концентрации (~ 12%) диборана в рабочей смеси, в структуре пленок начинают формироваться включения новой фазы. Это приводит к нелинейной зависимости внутренних напряжений и поверхностного сопротивления получаемых покрытий от состава смеси с минимальными значениями при концентрации диборана ~ 12%.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.