Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ МИКРОСКОПИЯ СУБНАНОМЕТРОВОГО РАЗРЕШЕНИЯ ПО ГЛУБИНЕ. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, "Оптика и спектроскопия"»

Авторы:
  • Вишняков Г.Н.1
  • Левин Г.Г.2
  • Минаев В.Л.3
  • Цельмина И.Ю.4
стр. 1039-
Платно
1 Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, 119361 Москва, Россия, 2 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, 3 Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, 119361 Москва, Россия, 4 Раменский приборостроительный завод, 140100 Раменское, Московская обл., Россия
Аннотация:
Приведены результаты численного моделирования, проведенного с целью исследования возможности измерения параметров шероховатости субнанометрового диапазона с помощью автоматизированного интерференционного микроскопа Линника с источником белого света. Показано, что шумы реконструкции фазовых изображений можно уменьшить до 0.1 нм при использовании усреднений интерферограмм и фазовых изображений.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.