Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «МОДЕЛИРОВАНИЕ И ПОЛУЧЕНИЕ ТРЕХМЕРНЫХ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК С ЗАДАННЫМИ ФОРМОЙ И ПАРАМЕТРАМИ МИКРОРЕЛЬЕФА ДЛЯ ПЛЕНОК CdTe, "Неорганические материалы"»

Авторы:
  • Ильчук Г.А.1
  • Курило И.В.2
  • Кусьнэж В.В.3
  • Петрусь Р.Ю.4
  • Когут И.Т.5
  • Станько Т.Н.6
стр. 240-
Платно
1 Национальный университет “Львовская политехника”, Украина, 2 Национальный университет “Львовская политехника”, Украина, 3 Национальный университет “Львовская политехника”, Украина, 4 Национальный университет “Львовская политехника”, Украина, 5 Прикарпатский национальный университет им. Василя Стефаника, Ивано-Франковск, Украина, 6 Национальный университет “Львовская политехника”, Украина
Аннотация:
Разработаны семь моделей поверхности трехмерных подложек кремния. Предложены модели прямых и инвертированных пирамид (усеченных и полных), а также модели подложек с треугольным и призматическим сечениями. В процессе моделирования учтены технологические возможности метода фотолитографии и анизотропного травления пластин кремния. Проведено моделирование траектории световых лучей в тонкопленочном трехмерном солнечном элементе CdS/CdTe с развитой поверхностью. Изготовлены трехмерные микрорельефные подложки с использованием полученных фотошаблонов и на основе результатов моделирования и расчетов. С помощью растровой электронной микроскопии исследована морфология их поверхности. Установлен элементный состав кремниевых подложек после вытравливания микрорельефа.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.