Статья «СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ arc-PVD-ПОКРЫТИЙ TiN?Cu, "Неорганические материалы"»

Керамико-металлические покрытия TiN?Cu с содержанием меди от 0 до 20 ат. %, полученные методом ионно-плазменного вакуумно-дугового осаждения(arc-PVD), характеризуются наличием нитрида титана и меди, которая при концентрации в покрытии менее 10 ат. % находится в рентгеноаморфном состоянии. Введение меди в состав покрытия приводит к уменьшению размеров кристаллитов нитридной фазы от 100 до 20 нм. Твердость покрытий при этом растет от 20 до 49 ГПа при увеличении содержания меди до 3.5 ат. %. Дальнейшее возрастание содержания меди до 20 ат. %, сопровождающееся уменьшением кристаллитов нитридной фазы, характеризуется снижением твердости до 14?15 ГПа, что связано с влиянием мягкого пластичного металла и появлением пористости в покрытии. Исследованы трибологические и адгезионно-когезионные свойства покрытий на подложках из твердого сплава.