Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Исследование пленок Ba-Sr-Nb-O (BSN), приготовленных при помощи разряда с убегающими электронами, "Наука Юга России"»

Авторы:
  • Толмачев Г.Н.1
  • Алиев И.М.2
  • Ковтун А.П.3
  • Павленко А.В.4
стр. 29-33
Платно
1 Южный научный центр Российской академии наук, 2 Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, 3 Южный научный центр Российской академии наук, 4 Южный научный центр Российской академии наук
  • В выпуске: №4, 2014, Том 10
  • В журнале: Наука Юга России
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Междисциплинарные журналы
  • Год выхода: 2014
  • SDI: 007.001.2500-0640.2014.000.004.29.33
  • ISSN: 2500-0640
Ключевые слова:
  • strontium barium niobate fi lms
  • Discharge with runaway electrons
  • dielectric constant
  • пленки ниобата бария-стронция
  • разряд с убегающими электронами
  • диэлектрическая проницаемость
Аннотация:
С применением метода, использующего режим разряда с убегающими электронами, в атмосфере кислорода при давлении 0,5 торр получены Ba-Sr-Nb-O (BSN) пленки на подложке (001)Si, на которую предварительно нанесен подслой платины толщиной 200 нм. Представлена структура рефлексов BSN/Pt/(001)Si, в которой отсутствует множество рефлексов BSN порошкограммы мишени. Делается вывод о строгой ориентации (001) атомных плоскостей BSN-пленки, а также (111) атомных плоскостей подслоя платины. Из текущей кривой интенсивности зеркального отраженного поляризованного оптического лазерного излучения (длина волны 650 нм) определена скорость роста и толщина пленки. Установлено, что при фиксированных режимах напыления скорость роста BSN-пленки является практически постоянной величиной и в случае мощности разряда 190 Вт составляет 10,7 нм/мин, при этом толщина h = 2,5 мкм достигается за 240 мин. В полученной BSN-пленке диэлектрическими измерениями обнаружен фазовый переход из сегнетоэлектрической фазы в параэлектрическую при Т = 55-75 °С, который, как и в BSN-кристалле, достаточно сильно размыт.

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.