Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СПЕКТРАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КИНЕТИКИ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В ПЛАЗМЕ ХЛОРА И ХЛОРОВОДОРОДА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Дунаев А.В.1
  • Пивоваренок С.А.2
  • Капинос С.П.3
стр. 19-
Платно
1 Ивановский государственный химико-технологический университет, 2 Ивановский государственный химико-технологический университет, 3 Ивановский государственный химико-технологический университет
  • В выпуске: №1, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Изучены спектры излучения плазмы хлора и хлороводорода при травлении арсенида галлия. Выбраны контрольные линии и полосы для спектрального контроля скорости процесса травления по интенсивности излучения линий и полос продуктов травления. Показано, что связь между интенсивностью излучения продуктов травления GaAs и скоростью травления арсенида галлия в плазме хлора и хлороводорода описывается прямо пропорциональной зависимостью, что подтверждает предположение о возможности контроля скорости процесса травления спектральным методом в реальном масштабе времени.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.