Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Повышение точности аппроксимации профиля зоны эрозии планарных магнетронов, "Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Рогов А.В.1
  • Капустин Ю.В.2
стр. 1429-1431
Платно
1 НИЦ “Курчатовский институт” Россия, 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, 1, 2 НИЦ “Курчатовский институт” Россия, 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, 1
Аннотация:
Показано, что использование смещенной по оси ординат функции выживания распределения Вейбулла позволяет повысить точность аппроксимации нормированного профиля зоны эрозии в области от оси до максимума распыления по сравнению с предложенной ранее функцией распределения экстремальных значений. В области от максимума до внешней границы зоны эрозии используется функция выживания распределения Вейбулла. Наибольшее преимущество использования новой аппроксимации проявляется для магнетронов с большим центральным нераспыляемым пятном и для магнетронов со значительным распылением в приосевой зоне.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.