Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Планаризация поверхности композиции ”нанопористый диоксид кремния-диоксид титана“ методом атомно-молекулярной химической сборки, "Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Лучинин В.В.1
  • Панов М. Ф.2
  • Романов А.А.3
стр. 736-740
Платно
1 Санкт-Петербургский электротехнический университет “ЛЭТИ”, 2 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 3 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ”ЛЭТИ“
  • SDI: 007.001.0044-4642.2017.087.005.14
Аннотация:
Исследованы процессы, происходящие при планаризации поверхности нанопористого SiO методом атомно-молекулярного наслаивания наноразмерных пленок TiO, в режимах, обеспечивающих различное проникновение TiO в нанопоры SiO. Рассмотрены параметры технологического процесса, обеспечивающие различные режимы планаризации поверхности. Степень проникновения TiO в нанопоры SiO проконтролирована методом отражательной эллипсометрии путем измерения распределения показателя преломления по глубине структуры в рамках двуслойной модели.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.