Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Создание наноструктурированной поверхности кремния методом селективного химического травления (06), "Журнал технической физики"»

Авторы:
  • Сагындыков А.Б.1
  • Калкозова Ж.К.2
  • Яр-Мухамедова Г.Ш.3
  • Абдуллин Х.А.4
стр. 1673-1676
Платно
1 Казахский национальный университет им. аль-Фараби, 2 Казахский национальный университет имени аль-Фараби МОН РК, Алматы, 3 Казахский национальный университет им. аль-Фараби, 4 Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа КазНУ им. аль-Фараби МОН РК, Алматы
Аннотация:
Методом селективного химического травления, инициированного металлическими нанокластерами, в двухэтапном процессе получены наноструктурированные поверхности кремниевых пластин с низким коэффициентом отражения. На кремниевых подложках, покрытых нанокластерами серебра, эффект усиленного поверхностью рамановского рассеяния наблюдался до концентраций радомина ~ 10М. Зависимость глубины наноструктурированного слоя от условий проведения двухэтапного процесса травления, в частности от длительности травления, является весьма слабой при определенных технологических параметрах. При прочих равных условиях проведения процесса травления в кремнии p-типа проводимости скорость образования текстурированного слоя в два раза выше, чем в кремнии и-типа.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.