Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «РЕНТГЕНОШАБЛОНЫ С ТИТАНОВОЙ И ПОЛИМЕРНОЙ НЕСУЩИМИ МЕМБРАНАМИ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Генцелев А.Н.1
  • Гольденберг Б.Г.2
  • Зелинский А.Г.3
  • Лемзяков А.Г.4
  • Кондратьев В.И.5
стр. 1351-
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН), Новосибирск., 2 Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики СО РАН, Новосибирск., 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения Российской академии наук (ИХТТМ СО РАН), Новосибирск., 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН), Новосибирск., 5 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики имени Г.И. Будкера СО РАН, Новосибирск.
Аннотация:
В работе рассмотрены конструкции и технологии изготовления рентгеновских шаблонов для реализации мягкой (в области длин волн <img src="/ItemImages/1141982/20280536/FO_1_1.gif" align=absmiddle border=0> <img src="/ItemImages/1141982/20280536/FO_2_1.gif" align=absmiddle border=0> 2?9 A) трафаретной синхротронной рентгенолитографии. В качестве несущих мембран рентгеношаблонов использовались тонкие как неорганические (титановые), так и органические (каптоновые и полиэфирэфиркетоновые) пленки. Представлены фотографии первых полученных образцов рентгеношаблонов и их расчетные рентгенолитографические параметры.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.