Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «КОНТРАСТ ИЗОБРАЖЕНИЙ ПРИМЕСНЫХ ОБЛАСТЕЙ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛАХ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Рау Э.И.1
  • Тагаченков А.М.2
стр. 1041-
Платно
1 Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, 2 Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва
Аннотация:
Представлен критический обзор современного состояния проблемы визуализации локальных примесных областей в полупроводниковых кристаллах в РЭМ. Предложено новое физико-техническое решение мониторинга распределения примесей в легированных областях, позволяющее в разы увеличить контраст изображения примесных участков в широком диапазоне концентраций.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.