Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИЗМЕНЕНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ИМПЛАНТИРОВАННОЙ ИОНАМИ ЦИНКА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССЕ ОБРАЗОВАНИЯ НАНОЧАСТИЦ ПРИ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Привезенцев В.В.1
  • Табачкова Н. Ю.2
  • Куликаускас В.С.3
  • Петров Д.В.4
  • Лебединский Ю.Ю.5
стр. 1063-
Платно
1 Бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук, Moсква, 2 Национальный исследовательский технологический университет “МИСИС”, 3 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, 4 Институт биологии внутренних вод им. И.Д. Папанина РАН, 152742 Ярославская обл., Некоузский р-н, пос. Борок, 5 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва
Аннотация:
Представлены результаты исследования формирования наночастиц (НЧ) на поверхности кремниевых пластин после имплантации цинка и термических отжигов. Для исследования использовались методы просвечивающей электронной микроскопии, электронографии, энергодисперсионного микроанализа, сканирующей туннельной микроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной/оже-спектроскопии. Установлено, что в имплантированных образцах на поверхности находятся только пленка аморфизованного кремния, содержащего имплантированный цинк и кислород, и загрязнения углеродом. Термообработка в диапазоне 400?800°C приводит к образованию на поверхности пластин кроме окисного слоя кремния толщиной около 20 нм еще и НЧ с поперечным размером 20?50 нм и высотой до 10 нм. Эти НЧ состоят из соединений окисленного цинка типа ZnO, ZnSiO<sub>3</sub> или Zn<sub>2</sub>SiO<sub>4</sub>. После отжига при 1000°C эти НЧ исчезают.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.