Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЛЕГИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ III И V ГРУПП В ВЫСОКОЧИСТОМ КРЕМНИИ МЕТОДОМ ДЛИННОВОЛНОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Болдырев К.Н.1
  • Болдырев Н.Ю.2
  • Кирилин Р.В.3
стр. 1727-
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт спектроскопии Российской академии наук, Москва., 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт спектроскопии Российской академии наук, Москва., 3 ООО “Группа НИТОЛ”, Москва.
Аннотация:
Изготовлена опытная установка по анализу концентрации электроактивных примесей в высокочистом кремнии методом исследования низкотемпературных спектров пропускания с компенсацией донорно-акцепторных примесей. Показана применимость метода для исследования как высокочистых, так и легированных кремниевых пластин. Разработано программное обеспечение для автоматического расчета концентрации примесей.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.