Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Контрольные индикаторы энергоэффективности ВЧ индукционного газоразрядного узла, "Известия Российской академии наук. Энергетика"»

Авторы:
  • Рябый В.А.1
  • Обухов В.А.2
  • Машеров П.Е.3
  • Могулкин А.И.4
стр. 70-81
Платно
1 Научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования “Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)”, 2 Научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования “Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)”, 3 Научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования “Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)”, 4 Научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования “Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)”
  • SDI: 007.001.0002-3310.2016.000.003.70.81
  • ISSN: 0002-3310
  • УДК: 537.525.7
Ключевые слова:
  • ВЧ индукционный разряд
  • ВЧ генератор
  • нагрузка
  • плазма
  • индуктор
  • интегральная диагностика
  • КПД передачи ВЧ мощности в разряд
  • потери ВЧ мощности
  • RF ICP discharge
  • RF generator
  • load
  • plasma
  • antenna coil
  • integral diagnostics
  • effectiveness of RF power transfer into discharge
  • RF power loss
Аннотация:
Предложены контрольные индикаторы энергоэффективности ВЧ индукционного (ВЧИ) газоразрядного узла, получаемые путем интегральной диагностики разряда на основе предварительного определения параметров индуктора и измерений силы тока в нем при отсутствии и горении разряда и при точном согласовании нагрузки с ВЧ генератором. По результатам диагностики составлена группа из 12 параметров, названных конструктивными и операционными индикаторами системы, которые важны для сопоставления с данными локальной диагностики плазмы ВЧИ системы. Экспериментальная апробация предложенной методики выполнена на немецком технологическом источнике ионов RIM-20.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.