Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Электронно-лучевая зарядка диэлектриков, предварительно облученных ионами и электронами средних энергий, "Физика твердого тела"»

Авторы:
  • Рау Э.И.1
  • Татаринцев А.А.2
  • Зыкова Е.Ю.3
  • Иваненко И.П.4
  • Купреенко С.Ю.5
  • Миннебаев К.Ф.6
  • Хайдаров А.А.7
стр. 1504-1513
Платно
1 Физический факультет Московского Государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологий микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, 3 Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, 4 МГУ им. Ломоносова, 5 Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, 6 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, 7 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Аннотация:
Изучены эффекты зарядки диэлектрических мишеней при облучении электронами средних энергий в сканирующем электронном микроскопе. Установлены существенные различия кинетики зарядки для исходных образцов и образцов, предварительно облученных электронами и ионами. Эти различия объясняются радиационно-стимулированным дефектообразованием в образцах A1O (сапфир) и SiO, имеющим, однако, различную природу. Показана роль модификации структуры поверхности и изменения электрофизических характеристик поверхности, в частности эффекта растекания зарядов. Обнаружены критические значения дозы облучения как ионами Ar, так и электронами, при которых начинается активное дефектообразование в диэлектрических мишенях, а также критические значения внутренних полей зарядов, вносящих существенный вклад во временные характеристики зарядки AlO и SiO.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.