Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур а-8ЮЖЮ, подвергнутых высокотемпературному отжигу, "Физика твердого тела"»

Авторы:
  • Боряков А.В.1
  • Суродин С.И.2
  • Николичев Д.Е.3
  • Ершов А.В.4
стр. 1183-1191
Платно
1 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 3 Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 4 Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Аннотация:
Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с послойным травлением выполнен анализ химического и фазового состава многослойных нанопериодических структур SiO/ZrO, полученных испарением в вакууме из раздельных источников и подвергнутых высокотемпературному отжигу. Установлено, что при используемых условиях напыления слои субоксида кремния имели коэффициент стехиометричности х ~ 1.8, а цирконийсодержащие слои представляли собой стехиометрический диоксид циркония. С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии обнаружено, что отжиг многослойных структур при 1000°C приводит к взаимодиффузии компонентов и химическому взаимодействию ZrO и SiO c образованием преимущественно силиката циркония на гетерограницах структур. Слои SiO отожженных наноструктур содержали ~ 5 at.% элементарного кремния как следствие фазового разделения и формирования нанокристаллов кремния малого размера.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.