Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИК-спектры углерод-вакансионных кластеров при топохимическом превращении кремния в карбид кремния, "Физика твердого тела"»

Авторы:
  • Грудинкин С.А.1
  • КУКУШКИН С.А.
  • ОСИПОВ А.В.
  • Феоктистов Н.А.2
стр. 2403-2408
Платно
1 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН; Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 2 Институт проблем машиноведения Российской академии наук; Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Аннотация:
Методами инфракрасной спектроскопии (ИК) и спектральной эллипсометрии экспериментально подтвержден предсказанный ранее теоретически механохимический эффект нарушения стехиометрии состава, ведущий к образованию углерод-вакансионных структур в пленках карбида кремния (SiC) на подложках кремния (Si), выращенных методом замещения атомов. Обнаружено, что полоса в области 960 cm в ИК-спектрах пленок SiC на Si, отвечающая „углерод-вакансионным кластерам“, всегда присутствует в пленках SiC, выращенных в атмосфере чистого монооксида углерода (CO) или в смеси CO с силаном (SiH) на подложках Si различной ориентации, уровня и типа легирования. Установлено отсутствие полосы поглощения в области 960 cm в ИК-спектрах пленок SiC, синтезированных при оптимальном соотношении давлений газов CO и трихлорсилана (SiHCl). Экспериментально подтвержден предсказанный ранее теоретически механизм протекания химической реакции замещения атомов Si на углерод (С) при взаимодействии газов CO и SiHCl на поверхности подложки Si, приводящий к формированию эпитаксиальных слоев монокристаллического SiC.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.