Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Электронное строение и фазовый состав диэлектрических прослоек в многослойной аморфной наноструктуре [(CoFeB)C/SiO], "Физика твердого тела"»

Авторы:
  • Домашевская Э.П.1
  • Буйлов Н.С.2
  • Терехов В.А.3
  • Барков К.А.4
  • Ситников В.Г.5
стр. 161-166
Платно
1 Воронежский государственный университет, 2 Воронежский государственный университет, 3 Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия, 4 Воронежский государственный университет, 5 Воронежский государственный технический университет
  • SDI: 007.001.0367-3294.2017.059.001.27
Аннотация:
Многослойная аморфная наноструктура [(CoFeB)C/SiO] из чередующихся композитных и диэлектрических слоев была получена ионно-лучевым распылением на вращающуюся ситалловую подложку из двух мишеней, одна из которых представляла собой металлическую пластину сплава CoFeB со вставками графита. Диэлектрические прослойки напылялись из пластины кварца SiO (вторая мишень). Толщины бислоев многослойной наноструктуры (МНС) (6nm), состоящие из металлосодержащих композитных слоев с углеродом (CoFeB)C толщиной около 4nm и диэлектрических прослоек оксидов кремния толщиной около 2nm, определялись методом малоугловой дифракции. Результаты экспериментального послойного исследования без разрушения МНС методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии (УМРЭС) показали существенное отклонение стехиометрического состава диэлектрических прослоек от стехиометрии распыляемого кварца в сторону уменьшения содержания кислорода с образованием субоксида SiOi. По результатам моделирования Si L-спектров с помощью эталонных спектров известных фаз содержание субоксидной фазы кремния в аморфных диэлектрических прослойках достигает около половины состава прослойки, вторая половина которого приходится на диоксид SiO. „Экранирующее“ действие углерода в металлосодержащих слоях проявляется в отсутствии силицидообразования на интерфейсах исследуемой многослойной структуры и должно способствовать увеличению анизотропии их электромагнитных свойств.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.