Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ПОЛУЧЕНИЕ КАРБОНИТРИДНЫХ ПЛЕНОК НА СТАДИЯХ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА И ЕГО ПОСЛЕСВЕЧЕНИЯ, "Физика плазмы"»

Авторы:
  • Григорьян Г.М.1
  • Кочетов И.В.2
стр. 475-
Платно
1 Санкт-Петербургский государственный университет, Россия, 2 Московский государственный институт электроники и математики 109028 Москва, Трехсвятительский пер., 3
  • В выпуске: №5, 2013, Том 39
  • В журнале: Физика плазмы
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Физика
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Экспериментально исследовано образование карбонитридных пленок СхNy на стадиях тлеющего разряда и послесвечения в смесях CH4 и N2, и при разбавлении этих смесей аргоном и гелием. Получены зависимости скорости роста пленки от тока разряда и давления. Определен состав получаемых пленок (отношение N/C) и спектры поглощения в ИК-диапазоне. Измерение спектров поглощения позволило идентифицировать различные связи между атомами С и N. Впервые для карбонитридных пленок предложен метод осаждения на стадии “двойного” послесвечения, при использовании которого заметно возрастает скорость ее роста. Обсуждаются возможные механизмы образования и разрушения карбонитридных пленок на стадиях разряда и послесвечения.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%