Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Михайленко И.В.1
  • Орлов А.Т.2
  • Сердега Б.К.3
стр. 524-528
Платно
1 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, 2 Национальный технический университет Украины „Киевский политехнический институт", 3 Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарёва НАН Украины, 03028 Киев, Украина
Аннотация:
В полупроводниковом преобразователе давления, состоящем из сенсорного резистора, имплантированного в кремниевую мембрану, как упругий элемент механики, техникой модуляционной поляриметрии детектированы внутренние механические напряжения. Координатные распределения одноосных напряжений измерены в двух случаях - напряжения, остаточные от локальных неоднородностей легирования кристалла, и напряжения, обусловленные разогревом от протекающего тока. Координатное распределение температуры от теплового потока, выделяемого током в резисторе, получено двойным интегрированием функции напряжения с учетом соответствующих граничных условий.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.