Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO2 : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Паршина Л.С.1
  • Храмова O.Д.2
  • Новодворский О. А.3
  • Лотин А.А.4
  • Петухов И.А.5
  • Путилин Ф.Н.6
  • Щербачев К.Д.7
стр. 426-430
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем лазерных и информационных технологий Российской академии наук (ИПЛИТ РАН), Шатура, Московская область, Россия, 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем лазерных и информационных технологий Российской академии наук (ИПЛИТ РАН), Шатура, Московская область, Россия, 3 Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, 4 Институт проблем лазерных и информационных технологий Российской академии наук, Шатура, 5 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, 6 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 7 НИТУ “МИСиС”, Москва, 119049
Аннотация:
Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO2 : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см2. Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO2 : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2 10-3 Ом см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см2, температуре подложки 300?C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.