Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОДНОВРЕМЕННОГО ВИЗУАЛЬНОГО И ТЕПЛОВОГО КОНТРОЛЯ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, "Дефектоскопия"»

Авторы:
  • Мачихин Александр Сергеевич1
  • Батшев ладислав Игоревич2
стр. 75-81
Платно
1 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН; Национальный исследовательский университет «МЭИ»; АО «НПО ЭНЕРГОМАШ имени академика В.П. Глушко», 2 Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
  • В выпуске: №2, 2016
  • В журнале: Дефектоскопия
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Физика
  • Год выхода: 2016
  • SDI: 007.001.0130-3082.2016.000.002.75.81
  • ISSN: 0130-3082
Ключевые слова:
  • микроскопия
  • микроэлектроника
  • визуальный контроль
  • тепловой контроль
Аннотация:
Рассмотрена задача одновременного визуального и теплового контроля микрообъектов. Для этого предложена и реализована зеркально-линзовая оптическая схема, не имеющая подвижных элементов и обеспечивающая одинаковый масштаб изображений в спектральных диапазонах 0,4-0,8 и 8-14 мкм. Изложена методика ее габаритного расчета. Описана экспериментальная установка на основе данной схемы и приведены результаты ее апробации на примере исследования изделий микроэлектроники.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.