Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Труды ФТИАН. Т. 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование

Авторы

Коллектив авторов


* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%

Форматы, доступные для скачивания после покупки

pdf
  • Год: 2018
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Объем страниц: 138
  • Тираж: 150
  • SDI: 007.001.978-5-02-040089-4
  • ISBN: 978-5-02-040089-4
Аннотация:
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС), наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11–32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%