Статья «Многослойные гетероструктуры титаната бария-стронция и манганита лантана на монокристаллических подложках оксида магния, "Наука юга России"»

Представлены результаты получения и рентгендифрактометрического исследования структуры многослойных гетероструктур титаната бария-стронция и манганита лантана на монокристаллических подложках оксида магния с различной ориентацией кристаллитов в слоях относительно плоскости подложки. Для создания многослойных пленочных структур применялся метод высокочастотного катодного распыления керамических мишеней BaSrTiO и LaMnO при высоких давлениях рабочего газа кислорода (~1 Торр). В зависимости от условий роста и последовательности расположения слоев BaSrTiO и LaMnO можно получать монокристаллические или поликристаллические пленки. При использовании в качестве первого слоя LaMnO пленки LaMnO и BaSrTiO являются поликристаллическими с ярко выраженной текстурой (001) и (011). Для многослойной гетероструктуры с первым слоем BaSrTiO пленки BaSrTiO и LaMnO являются эпитаксиальными, кристаллографические оси которых ориентированы параллельно кристаллографическим осям подложки. Разориентировки кристаллографических осей не превышают 0,7°. Во всех слоях многослойных пленочных структур в плоскости подложки присутствуют сжимающие напряжения.